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概述
EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，采用成熟的轴承技术，上轴承为**性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并采用Holweck拖曳分级技术，可以DC 24V直接驱动，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。
基本的分子泵系统通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
智能控制，功耗低，减少运行成本
与Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容，可以添加1~3真空规而无需额外真空控制器，可以连接冷却风扇和自动放气阀
并行或串行接口：并行模式允许使用传统控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵状态，并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温度
入口配有筛网
上轴承为**性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低
配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）
Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差
带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承
技术指标
入口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K | |||||
出口法兰 | KF16 | |||||
抽 速 | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |||
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |||
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |||
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |||
压 缩 比 | N2 | >1×1011 | ||||
He | 1×106 | |||||
H2 | 5×104 | |||||
极限 真空 | RV泵，ISO/CF | <5×10-9/<5×10-10 mbar | ||||
隔膜泵，ISO/CF | <5×10-8/<5×10-9 mbar | |||||
推荐前级泵* | RV5/nXDS6i | |||||
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |||||
**连续入口压力（轻质气体）? | ||||||
水冷（水温15°C，环境温度40°C） | 2×10-2 mbar | |||||
空冷（环境温度35°C） | 1×10-2 mbar | |||||
泵转速 | ||||||
标称转速 | 90000rpm | |||||
待机转速 | 49500~90000rpm可调 （缺省63000 rpm） | |||||
功率范围 | 50~120W可调 （缺省80W） | |||||
90%转速启动时间 | 110s? | |||||
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |||||
冷却方式# | 空冷/水冷 | |||||
空冷环境温度 | 5~35°C | |||||
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |||||
水温范围 | 10~20°C | |||||
入口法兰**温度 | 100°C | |||||
工作姿态 | 垂直、水平 | |||||
噪声（1m处） | <50dB(A) | |||||
**耐受磁场 | 5mT | |||||
推荐控制器 | TIC100涡轮仪表控制器 | |||||
稳态功耗 | 10W | |||||
*根据应用可使用较小的前级泵，如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于该入口压力，转速会降至标称转速以下。
? 功率为80 W。
#空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号 | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法兰 |
B72242000 | EXT75DX分子泵：DN63CF入口法兰 |
B72243000 | EXT75DX分子泵：DN40NW入口法兰 |
B72245000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰 |
B72246000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰（DN25NW前级泵接口） |
B72235000 | EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法兰 |
B72237000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰 |
B72238000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰（DN25NW前级泵接口） |
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