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Edwards nEXT 85涡轮分子泵
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产品简介

nEXT85 涡轮分子

概述

nEXT85型分子泵是成熟产品EXT75DX型分子泵的升级产品,技术性能进一步提升,外形进一步简洁美观。

涡轮重新整体设计,以达到优化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能达到更高转速,又能实现更高压缩比。

nEXT85性分子泵的工作性能和服务扩大了nEXT分子泵的应用范围,实现了智能安装、现场服务,成为真正的领*产品。

性能特点

性能优越,技术领*

型号众多,易于用户选择

采用Edwards涡轮温度直接测量**技术,极大提高工作安全性能

前级接口和级间接口可根据用户需求选择(NW40ISO63CF63ISO100)或定制

用户可自行更换轴承和油盒

• CMSD技术使得震动水平更低

智能化,通过USB口和Edwards nST软件可实现对泵的监测、

技术指标

nEXT85 D

nEXT85 H

入口法兰

NW40

ISO63

CF63

ISO100

NW40

ISO63

CF63

ISO100

抽速

l/s

N2

47

84

86

47

84

86

He

61

78

80

61

78

78

H2

49

60

60

49

54

54

Ar

44

80

84

44

80

84

N2

>1011

He

8×106

2×107

H2

2×105

5×105

Ar

>1011

极限真空(mbar

ISO<5×10-9CF<5×10-10

出口法兰

KF16

放气口/吹扫口

1/8英寸BSP母螺纹

质量(kg

2.9

3.0

4.4

3.2

2.9

3.0

4.4

3.2

前级真空要求

mbar

N2

19

21

He

19

21

H2

30

30

Ar

22

21

*大连续入口流量(N2

42sccm[水冷(水温15°C,环境温度40°C]60sccm[空冷(环境温度20°C]

推荐前级泵

nXDS15i

入口*高温度

120°C

工作姿态

垂直、水平(±2°)

工作转速

90000rpm

90%转速启动时间

80W130s120W90 s

冷却方式

空冷/水冷

噪声(1m处)

<34dB(A)±2.5

*大耐受磁场

3.5mT

电源

24V~48V DC

模拟输出电压

0V~10V DC

工作温度范围

5°C ~40°C

工作湿度范围

10% ~90%RH

储存温度范围

-30°C ~70°C

工作*高海拔

2000m

订货信息

货号

描述

B8G210B01

nEXT85D ISO63 NW16 80W

B8G210C01

nEXT85D CF63 NW16 80W

B8G210101

nEXT85D ISO100 NW16 80W

B8G210A01

nEXT85D NW40 NW16 80W

B8G410B01

nEXT85H ISO63 NW16 80W

B8G410C01

nEXT85H CF63 NW16 80W

B8G410A01

nEXT85H NW40 NW16 80W

B8G410101

nEXT85H ISO100 NW16 80W

货号

描述

D39592000

TAG涡轮控制器

D39592800

TAG涡轮控制器电源

D39721000

TIC涡轮仪表控制器:200WRS232

B8G200820

ACX85空气冷却器

B8G200834

TAV5放气阀(常开)

B8G200828

油盒组件

B8G200827

轴承组件

B8G200840

轴承更换工具组件

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