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泵
nEXT分子泵泵组
Edwards nEXT 85涡轮分子泵
Edwards E2M28双级油封式旋片机械真空泵
Edwards E2M80双级油封式旋片机械真空泵
Edwards E2M175双级油封式旋片机械真空泵
Edwards nXDS6i涡旋式干泵
Edwards E2M40双极油封式旋片机械真空泵
Edwards nEXT240D涡轮分子泵
Edwards E2M275双级油封式旋片机械真空泵
Edwards nXDS20i涡旋式干泵
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相关仪表
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测量/计量仪器
Edwards APG100皮拉尼真空规
Edwards AIM真空规
Edwards WRG真空规
联系方式 |
产品系列
nEXT85 涡轮分子泵
概述
nEXT85型分子泵是成熟产品EXT75DX型分子泵的升级产品,技术性能进一步提升,外形进一步简洁美观。
涡轮重新整体设计,以达到优化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能达到更高转速,又能实现更高压缩比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服务扩大了nEXT分子泵的应用范围,实现了智能安装、现场服务,成为真正的领*产品。
性能特点
• 性能优越,技术领*
• 型号众多,易于用户选择
• 采用Edwards涡轮温度直接测量**技术,极大提高工作安全性能
• 前级接口和级间接口可根据用户需求选择(NW40、ISO63、CF63、ISO100)或定制
• 用户可自行更换轴承和油盒
• CMSD技术使得震动水平更低
• 智能化,通过USB口和Edwards nST软件可实现对泵的监测、
技术指标
nEXT85 D | nEXT85 H | ||||||||||||
入口法兰 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | |||||
抽速 (l/s) | N2 | 47 | 84 | 86 | 47 | 84 | 86 | ||||||
He | 61 | 78 | 80 | 61 | 78 | 78 | |||||||
H2 | 49 | 60 | 60 | 49 | 54 | 54 | |||||||
Ar | 44 | 80 | 84 | 44 | 80 | 84 | |||||||
压 缩 比 | N2 | >1011 | |||||||||||
He | 8×106 | 2×107 | |||||||||||
H2 | 2×105 | 5×105 | |||||||||||
Ar | >1011 | ||||||||||||
极限真空(mbar) | ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10 | ||||||||||||
出口法兰 | KF16 | ||||||||||||
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | ||||||||||||
质量(kg) | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | |||||
前级真空要求 (mbar) | N2 | 19 | 21 | ||||||||||
He | 19 | 21 | |||||||||||
H2 | 30 | 30 | |||||||||||
Ar | 22 | 21 | |||||||||||
*大连续入口流量(N2) | 42sccm[水冷(水温15°C,环境温度40°C)],60sccm[空冷(环境温度20°C)] | ||||||||||||
推荐前级泵 | nXDS15i | 入口*高温度 | 120°C | ||||||||||
工作姿态 | 垂直、水平(±2°) | 工作转速 | 90000rpm | ||||||||||
90%转速启动时间 | 80W:130s,120W:90 s | 冷却方式 | 空冷/水冷 | ||||||||||
噪声(1m处) | <34dB(A)±2.5 | *大耐受磁场 | 3.5mT | ||||||||||
电源 | 24V~48V DC | 模拟输出电压 | 0V~10V DC | ||||||||||
工作温度范围 | 5°C ~40°C | 工作湿度范围 | 10% ~90%RH | ||||||||||
储存温度范围 | -30°C ~70°C | 工作*高海拔 | 2000m | ||||||||||
订货信息
货号 | 描述 |
B8G210B01 | nEXT85D ISO63 NW16 80W |
B8G210C01 | nEXT85D CF63 NW16 80W |
B8G210101 | nEXT85D ISO100 NW16 80W |
B8G210A01 | nEXT85D NW40 NW16 80W |
B8G410B01 | nEXT85H ISO63 NW16 80W |
B8G410C01 | nEXT85H CF63 NW16 80W |
B8G410A01 | nEXT85H NW40 NW16 80W |
B8G410101 | nEXT85H ISO100 NW16 80W |
货号 | 描述 |
D39592000 | TAG涡轮控制器 |
D39592800 | TAG涡轮控制器电源 |
D39721000 | TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232 |
B8G200820 | ACX85空气冷却器 |
B8G200834 | TAV5放气阀(常开) |
B8G200828 | 油盒组件 |
B8G200827 | 轴承组件 |
B8G200840 | 轴承更换工具组件 |