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测量/计量仪器
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联系方式 |
产品系列
概述
nEXT400D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO160和CF160两种入口法兰接口,对N2的抽速为400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为**性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,*终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种**预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
**的转子设计,可以实现**的抽速和压缩比
维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸
设计紧凑,性能**,可以实现高效系统化
与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器
符合RoHS,并通过CSA/UL认可
技术指标
入口法兰 | DN160ISO-K,DN160CF | |
出口法兰 | KF25 | |
抽 速 | N2 | 400l/s |
He | 390l/s | |
H2 | 325l/s | |
压 缩 比 | N2 | >1×1011 |
He | 1×108 | |
H2 | 5×105 | |
极限真空(ISO/CF,RV前级泵) | <6×10-8/<5×10-10 mbar | |
推荐前级泵* | RV12/nXDS10i | |
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |
**连续入口流量(氮气)? | ||
水冷(水温15°C,环境温度40°C) | 105sccm | |
空冷(环境温度35°C) | 90sccm | |
泵转速 | ||
标称转速 | 60000rpm | |
待机转速 | 33000~60000rpm可调 (缺省42000 rpm) | |
功率范围 | 50~200W可调 (缺省160W) | |
90%转速启动时间 | 180s? | |
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |
冷却方式# | 空冷/水冷 | |
空冷环境温度 | 5~35°C | |
*小水冷流速 (15°C的水) | 15l/ h | |
水温范围 | 10~20°C | |
入口法兰**温度 | 70°C | |
工作姿态 | 垂直、水平(±2°) | |
噪声(1m处) | <45dB(A) | |
**耐受磁场 | 5mT | |
推荐控制器 | TIC200涡轮仪表控制器 | |
稳态功耗 | 20W |
*根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1。
? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。
? 功率为160 W。
#空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号 | 描述 |
B83200300 | nEXT240D涡轮分子泵:ISO160 入口法兰 |
B83200400 | nEXT240D涡轮分子泵:CF160 入口法兰 |
B83200301 | nEXT240D涡轮分子泵:ISO160 入口法兰,80W |
B83200401 | nEXT240D涡轮分子泵:CF160 入口法兰,80W |
D39722000 | TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232 |
B58053175 | nEXT径向风扇 |
B58053170 | nEXT径向风扇,带泵驱动接头 |
B80000815 | nEXT 水冷组件 |
B80000812 | 油滤筒工具组件 |
B80000805 | 轴承和油滤筒工具组件 |
B80000811 | 油滤筒 |
B80000810 | 轴承和油滤筒 |